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氮化硅薄膜力学性能的纳米压痕测试与分析
氮化硅薄膜力学性能的纳米压痕测试与分析,张良昌,许向东,纳米压入法在薄膜材料力学性能测试领域中有着广泛的应用。本文利用纳米压入技术对PECVD氮化硅(SiNx)薄膜的力学性能进行了测量与分
所属分类:
其它
发布日期:2020-01-08
文件大小:264192
提供者:
weixin_38618521
专业低温等离子体与稀薄气体仿真
PEGASUS专注于稀薄气体的直接蒙特卡洛模拟和低气压放电等离子体模拟,是真空技术、等离子体技术、薄膜技术、微电子技术、微细加工技术的专业数值模拟软件,能广泛应用于微电子中刻蚀、沉积和溅射设备,真空泵的优化设计,MEMS的工艺过程设计,再入飞行器等领域的研究,应用行业涵盖电子/半导体、新材料(纳米管、光纤)、新能源(燃料电池、太阳能光伏)、MEMS、光学、陶瓷、食品/饮料、汽车、航天、金属加工等领域。
所属分类:
电信
发布日期:2013-08-28
文件大小:5242880
提供者:
jhxfuture
模拟技术中的电容-电压测量技术、技巧与陷阱
在“半导体C-V测量基本原理”一文中,我曾谈到,电容-电压(C-V)测试长期以来被用于判断多种不同器件和结构的各种半导体参数,适用范围包括MOSCAP、MOSFET、双极结型晶体管和JFET、III-V族化合物器件、光伏(太阳能)电池、MEMS器件、有机薄膜晶体管(TFT)显示器、光电二极管和碳纳米管等等。研发实验室广泛利用C-V测量技术*测新材料、工艺、器件和电路。负责产品和良率增强的工程技术人员利用它们优化工艺和器件性能。可靠性工程师利用这类测量技术对供货商的材料进行资格检验,监测工艺参数,
所属分类:
其它
发布日期:2020-11-06
文件大小:223232
提供者:
weixin_38680340
微尺度热传导理论及金属薄膜的短脉冲激光加热
王秋军,徐红玉,宋亚勤,张元冲(西安交通大学机械结构强度与振动国家重点实验室,陕西 西安 710049)摘要:概述了微尺度热传导理论的几种模型及其求解方法。以金属薄膜的短脉冲激光加热为例,分析了固体材料在微尺度条件下的热响应特征,主要包括短脉冲激光加热条件下金属薄膜中的热平衡时间、薄膜中热传递的波动性特征和微尺度条件下热传递的尺寸效应;同时讨论了对流热损失对金属薄膜热行为的影响。 1引言微机电技术、微机电系统结构和纳米结构在近10年中都取得了巨大的进展并展现出广阔的应用前景,同时与此相关的各个基
所属分类:
其它
发布日期:2020-12-09
文件大小:118784
提供者:
weixin_38749268
纳米薄膜技术与应用
这是一款以生产质量为核心的纳米薄膜技术与应用,安全生产、质量生产成为了纳米薄膜技术与应用主要内容,...该文档为纳米薄膜技术与应用,是一份很不错的参考资料,具有较高参考价值,感兴趣的可以下载看看
所属分类:
其它
发布日期:2020-12-14
文件大小:5242880
提供者:
weixin_38680393
元器件应用中的不同磁芯材料在微电感中的应用
(上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200030)摘要:叙述了坡莫合金,铁氧体和非晶、纳米晶软磁等材料用作微电感磁芯的磁性材料的特性及其对微电感性能的影响,如电感量和Q值。并介绍了螺线管型微电感的制作工艺过程。关键词:磁芯材料;为电感;电感量;Q值中图分类号:TN55 文献标识码:A 文章编号:1003-353X(2005)10-0058-04 1 引言近年来便携式电子产品向小型化和微型化发展,并以大爆炸的形式进入人们的生活。磁性器件如电感器件及由它构成的电源
所属分类:
其它
发布日期:2020-12-09
文件大小:111616
提供者:
weixin_38627826
薄膜后栅型SnO
利用光刻、阳极氧化和剥离技术在玻璃基底制备薄膜后栅型场发射阵列,采用丝网印刷技术将一维SnO2纳米发射材料转移至后栅结构的阴极电极上,借助光学显微镜和扫描电镜观测薄膜后栅型场发射阴极阵列,利用ANSYS软件模拟了不同条件下阴极电极附近电子运动轨迹。结果表明,一维SnO2纳米线在阴极电极衬底上分布均匀,电子束斑随着阳压的增大而逐渐减小,随栅压的增加而变大。将阴极板与阳极荧光板制成了5 inch(1 inch=25.4 mm)单色薄膜后栅型结构场致发射显示器并对其进行了场发射性能测试。实验表明,在栅
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-26
文件大小:3145728
提供者:
weixin_38729607
基于局域场加强的近场纳米加工技术
介绍了一种全新的基于飞秒激光局域场加强效应的纳米加工技术,通过使用了微焦级别脉宽为130 fs、波长800 nm的飞秒激光照射于原子力显微镜的探针针尖,利用其局域场加强效应在金薄膜表面加工出各种纳米图形。对加工参数对加工线宽的影响中,我们发现了随着加工能量的减小和加工速度的不断增大将导致加工线宽不断减小,最终达到了极限线宽(~10 nm)。这项技术可以广泛的应用与各种材料的加工中,尤其适合各种金属薄膜的加工,特别是结合了现有的自动化控制系统更是可以加工出任意复杂的二维纳米图形。
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-12
文件大小:1048576
提供者:
weixin_38674883
激光与石墨烯相互作用的研究现状及发展趋势
石墨烯的问世引起了全世界范围的研究热潮,激光技术是使石墨烯深入走向应用领域的有力的技术手段,已成为先进制造技术的焦点之一。介绍了不同种类的激光制备石墨烯工艺过程的反应机制,包括脉冲激光沉积、激光诱导化学气相沉积外延生长、双光束干涉以及激光打开碳纳米管等。阐述了激光对石墨烯薄膜的破坏、切割、减薄、发光等调控石墨烯的质量和光电性能的方法与原理,并讨论了激光图案化石墨烯在气体传感器,超级电容器等领域的应用。总结了激光技术在石墨烯的制备与应用领域的发展趋势。
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-08
文件大小:6291456
提供者:
weixin_38550334
基于石墨烯的光纤功能化传感器件和激光器件
石墨烯材料的发展将光电子学、微纳米技术和材料物理学紧密联系在一起。作为一种柔性薄膜,石墨烯材料在光纤光波导平台上的组装更加方便。近年来,基于石墨烯的光纤功能器件以其丰富的功能推动着光电子学科的发展。重点关注当前广泛应用的传感、激光和非线性器件,介绍了石墨烯及其相关材料的制备工艺和与光纤结合的方法。通过对国内外相关研究成果的综述,充分展现了石墨烯光纤器件的性能和应用优势。
所属分类:
其它
发布日期:2021-01-26
文件大小:24117248
提供者:
weixin_38688969
电容-电压测量技术、技巧与陷阱
在“半导体C-V测量基本原理”一文中,我曾谈到,电容-电压(C-V)测试长期以来被用于判断多种不同器件和结构的各种半导体参数,适用范围包括MOSCAP、MOSFET、双极结型晶体管和JFET、III-V族化合物器件、光伏(太阳能)电池、MEMS器件、有机薄膜晶体管(TFT)显示器、光电二极管和碳纳米管等等。研发实验室广泛利用C-V测量技术*测新材料、工艺、器件和电路。负责产品和良率增强的工程技术人员利用它们优化工艺和器件性能。可靠性工程师利用这类测量技术对供货商的材料进行资格检验,监测工艺参数,
所属分类:
其它
发布日期:2021-01-20
文件大小:291840
提供者:
weixin_38731979
柔性可穿戴电子器件取得进展
当前人工智能快速发展,各种类人功能智能机器人层出不穷,触觉感知是人类和未来智能机器探索物理世界的基础性功能之一,发展具有触觉功能的仿生电子皮肤柔性感知器件,并实现器件与柔软组织间的机械匹配性具有重要的科学意义和应用价值。据中国科学报讯,近日,受指纹能够感知物体表面纹理的启发,中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所张珽研究团队在前期研究基础上,采用内外兼具金字塔敏感微结构的柔性薄膜衬底及单壁碳纳米管导电薄膜,设计并制备了具有宽检测范围、高灵敏度的叠层结构柔性振动传感器件,并建立了其摩擦物体表面时振
所属分类:
其它
发布日期:2021-01-19
文件大小:51200
提供者:
weixin_38712279