将点匹配法扩展应用于脊形结构LiNbO3光波导调制器电极的准静态分析中.将调制器各区域的势函数表示为该区域中满足Laplace方程的一系列基函数的级数,匹配边界上有限个点的边界条件以确定出级数项的系数.通过势函数得到脊形结构LiNbO3光波导调制器结构中电场分布的解析表达式,利用求得的电场可以得到调制器特性阻抗及有效折射率.所得的特性阻抗和有效折射率与采用有限元法得到的结果十分吻合.这一分析方法简便快捷,精度高,能够处理电极有一定厚度的多层光波导调制器结构.

采用X切LiNbO3基片,设计并研制了脊形结构集成电光Mach-Zehnder(M-Z)波导调制器,实验研制过程包含关键的LiNbO3基片湿腐蚀刻槽技术和大厚度电极制作技术.研究结果表明,脊形结构调制器与传统的平面结构调制器相比,在大幅度提高调制带宽方面,有着明显的优越性.