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二维光学内反射微小角度传感器的研究
角度测量是几何量计量技术的重要组成部分,广泛应用于工业、军事、航空、 航海以及通讯等各种领域。随着纳米测试技术的进一步发展,高精度高分辨率小 角度测量方法的研究成为此领域研究的一项重要内容。现阶段由于运用了各种先 进的测量手段和仪器使测量准确度和精度达到了很高的水平。但是,传统的小角 度测量仪器如激光干涉仪,光电自准直仪等,由于具有体积大、系统复杂、造价 昂贵、对测量环境要求高、较难组成多维测角系统等特点而很难用于工业高精度 在线测量。 本课题就是在这样的背景下提出来的。为了解决上述问题本课题
所属分类:
专业指导
发布日期:2010-03-16
文件大小:1048576
提供者:
qq447533120
转台用光电自准直仪测试软件开发
转台用光电自准直仪测试软件开发
所属分类:
其它
发布日期:2010-10-06
文件大小:447488
提供者:
yuanjunli5a1
CCD光电自准直仪工作原理及误差源分析
文章介绍了基于CCD的自准直仪工作原理,并对误差源和其影响做了详细分析。
所属分类:
专业指导
发布日期:2017-12-02
文件大小:132096
提供者:
ts81892446
显示/光电技术中的差传递分析计算的微分法
仪器的输出和各作用件的参数之间的关系如果能用数学关系表达,称这种关系式为作用方程式或仪器方程式。在具有明确的作用方程式的情况下,直接用微分法可以进行误差分析和计算。例如图1所示的自准直仪测角误差中,除原理误差外,还存在制造误差。那么,自准直仪的测角误差与哪些零件的制造误差有关呢?由式(4-2)得 式中,右边第一项是分划板刻线误差;第二项是物镜焦距误差。式(4-6)不仅指出了测角误差与哪两项制造误差有关,而且还揭示了这两项误差的影响符号相反。因此在制定零件的公差时,可以考虑一个给正偏差,
所属分类:
其它
发布日期:2020-11-13
文件大小:54272
提供者:
weixin_38723105
显示/光电技术中的仪器的误差来源
仪器的误差来源可以分为原理误差、制造误差和运行误差三大类。 (1)原理误差 原理误差由于理论不完善或采取近似理论而产生。它与制造精度无关,而是由设计决定。仪器采取何种方案,进行何种近似处理,便会产生何种原理误差。例如激光测长系统的小数有理化,光学系统的畸变误差等,都属原理误差。又如测角望远镜或自准直仪(见图1)是以分划板上的刻度Z来反映角度a的,即 图1 自准直仪的原理误差 可见Z与a呈非线性关系。也就是说,分划板上的刻线应按式(4-1)的关系成不等间隔。
所属分类:
其它
发布日期:2020-11-13
文件大小:129024
提供者:
weixin_38501206
利用坐标变换分析塔差对编码器测角精度测试的影响
为了实现编码器测角精度的高精度测量,介绍了应用多面棱体和自准直仪组合测量编码器测角精度的原理和方法,建立了多面棱体坐标系和自准直仪测量坐标系,利用坐标变换的方法推导了塔差对测角精度测试结果影响的精确模型。结果表明,编码器转轴的倾斜角度和倾斜方向会影响编码器测角精度的测量结果。测量误差随编码器的倾斜角度的增大而增大,且近似成平方关系。测量误差随随编码器的倾斜方向改变,倾斜方向角为0°或180°时,测量误差最小;倾斜方向角为90°或270°时,测量误差最大。当倾斜角度为5′时,引入的测量误差为0.1
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-26
文件大小:2097152
提供者:
weixin_38680393
扫描镜动态性能的自准直检测技术研究
为检验扫描镜的动态性能,提出了一种动态自准直检测方法,该方法巧妙地将被检扫描镜和动态靶标上目标模拟反射镜纳入动态光电自准直仪准直光束的传播路径中,并构成闭合的光学自准直测量回路。设计了扫描镜动态性能的自准直检测装置,并利用自准直方法对动态靶标的自身精度进行标定。实验结果表明,动态靶标在360°的范围内的动态精度为±15 μrad,可检测最大速度为80°/s,最大加速度为50°/s2。将该检测方法和装置应用于某型号空间激光照明成像跟踪系统中扫描镜的方位轴、俯仰轴独立性能的检验,获得了相应的静态轴系
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-26
文件大小:3145728
提供者:
weixin_38691319
基于面阵图像传感器的自动读值光电自准直仪
利用面阵图像传感器,提出自动瞄准读式光电自准直仪的设计方案,从工作原理、硬件以及软件三方面阐述该系统的设计方案和实现方法。通过面阵图像传感器(CCD或CMOS)实现精确的二维测量,选用Blackfin系列DSP嵌入式内核处理器BF549,实现对图像数据的采集、存储和计算,利用液晶显示屏实时显示处理结果。利用帧间差分法和背景差分法相结合的算法检测静态背景下的运动目标,确定当前运动点的位置,计算出角位移结果并实时显示。
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-23
文件大小:791552
提供者:
weixin_38687343
高精瞄具重复装卡误差测量
零位走动量是衡量瞄具稳定性的重要指标之一。由于普通瞄具对零位走动量要求较低, 在测量其零位走动量时往往忽略了瞄具的重复装卡误差对零位走动量的影响, 但在高精度瞄具的零位走动量的测量中, 重复装卡误差是不能忽略的。基于自准直仪原理, 设计了一套自动消除重复装卡误差的装置。该装置由半反半透镜的自动贴合装置及光电自准直仪组成。以压力传感器配合压电陶瓷(PZT)微位移器件形成一个微动微调闭环反馈系统, 实现对半反半透镜姿态的实时调整, 确保半反半透镜与瞄具物镜的端面完全贴合。经实验验证, 该装置在5°测
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-22
文件大小:4194304
提供者:
weixin_38689223
激光CCD自准直仪圆目标中心抗噪声精确定位方法
为满足高精度计量和方位瞄准跟踪系统的发展对激光CCD自准直仪测量精度的要求,提出一种基于正交傅里叶-梅林矩的激光CCD自准直仪圆目标中心抗噪声精确定位方法。首先利用正交傅里叶-梅林矩(OFMM)的幅值旋转不变性和更低径向矩阶数在充分提取图像边缘细节信息的同时抑制图像噪声的影响,通过对图像边缘旋转后垂直方向上不同阶次的正交傅里叶-梅林矩之间关系的分析将圆目标轮廓定位至亚像素级,然后采用最小二乘拟合方法实现圆目标中心的精确定位。结果表明,该方法稳定性好,定位精度高且抗干扰能力强,改进后的激光CCD自
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-11
文件大小:1048576
提供者:
weixin_38692043
一种快速高精度激光CCD自准直仪圆目标中心的定位方法
为满足高精度测量和瞄准跟踪系统中对激光CCD自准直仪的测量精度和实时性的要求, 提出一种快速高精度激光CCD自准直仪圆目标中心的定位方法。首先利用变结构元广义形态学边缘检测算法, 充分提取图像边缘细节信息的同时抑制图像噪声的影响, 然后采用多项式插值算法对圆目标轮廓进行快速亚像素定位, 最后利用最小二乘拟合方法实现了圆目标中心的精确定位。实验结果表明, 该定位方法稳定性好, 定位精度高且实时性强, 应用该方法改进后激光CCD自准直仪的测量精度由2″提高到±0.25″, 且单次测量时间小于0.23
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-10
文件大小:1048576
提供者:
weixin_38732343
横向调制偏振光测量导轨直线度
介绍了一种测量导轨直线度误差的新方法, 利用偏振干涉原理调制出一束偏振角随光束横向坐标线性变化的特殊线偏振光光束, 通过一个随直线度误差移动的光缝测量出光束中不同位置的偏振角, 根据直线度误差与偏振角之间的线性关系, 实现对直线度误差的测量。从理论上对该方法进行了论证分析, 进而详细介绍了光学调制器的组成, 设计了偏振角测量的光电组件, 并进行了相应的实验。实验结果分析表明, 该实验装置的直线度误差与偏振角之间的直线拟合相关指数R2优于0.9995, 且测量直线度误差范围不低于0.5 mm,构建
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-10
文件大小:996352
提供者:
weixin_38745891
单色仪转角重复精度的相位板衍射准直方法测量
为准确测量上海光源软X射线谱学显微光束线采用的变包含角平面光栅单色仪的转角重复精度,提出了一种新的基于相位板衍射准直技术的测量方法。该方法将半导体激光单模光纤和相位板衍射准直技术结合起来,利用面阵CCD采集图像,通过测量光斑的位移变化确定平面镜和光栅的角度变化。实验表明,该方法可以测量掠入射情况下单色仪联动时的转角重复精度,测量精度可达±0.1″,此测量精度优于同等实验条件下的商用ELCOMAT 3000自准直仪的测量精度。
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-10
文件大小:1048576
提供者:
weixin_38720461
一种基于电流调制和DSP解调的激光自混合干涉测振仪
研究了半导体激光自混合干涉测振仪的调制与解调技术。设计了基于电流调制和DSP解调的半导体激光自混合干涉测量系统,实现对振动物体的非接触式测量。分析了激光自混合干涉测振仪的理论模型,并用Matlab进行了仿真和误差分析。研究了系统的调制解调技术及基于DSP的数据采集与处理系统。该系统体积小、成本低、易于准直。提出的测振仪能够测量振动频率在5 kHz内的物体振动频率、振幅及振动波形,振动幅度测量精度可达0.325 μm。
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-10
文件大小:403456
提供者:
weixin_38581992
提高轮廓仪对大曲率半径表面形貌测量精度的研究
结合超精密制造技术,讨论了轮廓仪测量大曲率半径表面形貌存在的精度缺陷。提出了利用NIKON Autocollimator 6D自准直仪辅助Form Talysurf PGI 1250A以提高轮廓仪测量精度的改进方法。当自准直仪的光轴与样品顶点的法线共轴时,旋转样品其顶点的法线方向不变,因此自准直仪的反射像位置也不会变,并且自准直仪有很高的精度,从而可将其用于寻找顶点。基于相关参数对提高轮廓仪测量精度进行了理论计算和Zemax模拟。搭建实验装置对不同曲率半径的样品进行测量,与改进前实验结果进行对比
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-09
文件大小:2097152
提供者:
weixin_38677936
基于气体润滑支承技术的大承载精密一维调整技术研究
为实现光学和机械测量中对大型被测件位姿的一维高精度测量和调整,发明研制了基于空气静压轴承技术的高精度大承载一维调整装置,并对该一维调整系统的调倾性能进行测定和研究。阐述了基于空气静压轴承技术的调倾工作台的构成及工作原理。利用三维空间坐标变换得到调倾操作的数学模型,并由此得出了驱动器位移与倾斜角度间的关系。采用光电自准直仪构建测量系统,得出基于空气静压轴承技术的大范围高精度工作台倾斜调整的分辨力。分析了测量系统的误差,给出调倾装置的性能评价。实验结果表明:在50 kg负载下,调倾操作的分辨力为1.
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-05
文件大小:2097152
提供者:
weixin_38610815
应变式压电光学偏转器的集成设计及性能测试
提出了一种应变反馈式压电驱动光学偏转器。首先介绍压电光学偏转器的机械结构及内部组成原理, 光学偏转器内部集成两个应变反馈式压电驱动器, 来实现对镜面的驱动及其角位移测量。然后自准直仪用于校准偏转器, 获得的偏转精度为0.05′, 并进行一系列开闭环实验以验证定位和跟踪性能。实验结果表明:在开环模式下, 30 min的定位时间内出现12.60%的蠕变, 对变幅值三角波的偏转跟踪误差占偏转量程的13.70%;在闭环模式下, 蠕变基本得到消除, 对变幅值三角波的偏转跟踪误差占偏转量程的4.31%。因此
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-04
文件大小:9437184
提供者:
weixin_38690830
高精度快速倾斜镜位置检测与标定
在单探测器型复合轴系统中, 子轴跟踪启动后, 主轴因没有适当的控制输入而处于开环状态, 易导致目标脱离视场。为了避免这种情况, 需要系统将精确的压电陶瓷(PZT)位置反馈给主轴。单独使用PZT振镜的开环系统时, 无法对PZT振镜的倾斜角度进行较高精度的控制, 若辅以检测补偿系统, 则可以提高系统的控制精度。目标位置检测对于振镜控制具有重要的作用, 它为开环状态下的伺服系统提供精确的控制信息, 以保证目标始终在视轴的中心位置。根据PZT振镜的物理结构特点, 研究单探测器型复合轴系统中振镜位置的检测
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-04
文件大小:7340032
提供者:
weixin_38681147
光电自准直经纬仪光学系统设计与公差分析
光电自准直经纬仪是一种集成了光电自准直仪和经纬仪双重功能的精密测量系统, 其光路由目视内调焦望远系统和光电自准直系统两部分组成。首先提出共光路光学系统的设计原理与方法, 优化设计成像清晰的内调焦望远系统和分辨率较高的自准直光学系统。然后对影响成像质量最大的多胶合棱镜进行公差分析和设计, 给出既满足成像要求又兼具经济性的加工公差值。最后对设计的光学系统进行精度测试。测试结果表明, 所设计的光学系统在±20″视场范围内自准直精度达到0.6″, 可以满足设计要求。
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-04
文件大小:5242880
提供者:
weixin_38691641
基于自准直仪的测角传感器实时在位校准方法
提出了一种基于自准直仪的在位校准方法。基于圆周封闭原则和傅里叶级数的性质, 建立了测量值与理想值之间的函数关系, 利用理想刻线位置和实际刻线位置的偏差, 获得了校准曲线, 详细推导和分析了校准原理, 搭建了校准测角系统, 并进行了实验验证。实验结果表明, 单读数头测角传感器原始测角误差为734.8″, 校准后误差为2.4″, 且校准效果优于常用的谐波补偿方法, 校准系统的重复性优于0.13″。在位校准方法能够有效减小测角误差, 且方法简单, 校准效率高。
所属分类:
其它
发布日期:2021-01-25
文件大小:7340032
提供者:
weixin_38674627
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