157 nm是对硬脆材料进行激光表面微加工的理想波段。构建数学模型以探讨激光抛光材料时工艺参数对表面粗糙度Ra的影响，使用最小二乘法推导出粗糙度的计算式。利用157 nm激光对GaN外延片进行了抛光微加工的基础实验。通过比较多组模拟与实验粗糙度值，发现理论粗糙度值与实际的测量值之间有一定误差，但相对误差都在15%以下，最小的相对误差为4%。以低于15 Hz的脉冲频率和高于0.7 mm/min的扫描速度进行激光扫描刻蚀时，可以获得较低的表面粗糙度。数学模型合理地解释了抛光后底面沟壑的形成，为今后改