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通信与网络中的智能像素集成技术倒装焊铟柱电镀制备技术
倒装焊(Flip-chip Bonding)技术是制备Smart Pixels的重要工艺之一,一般倒装焊需要专门的设备,其成本很高。为了进行器件性能的中间测试,我们设计了一种简单的倒装焊方法,即先用电镀的方法在器件电极上镀上铟柱,再用红外光刻机或显微镜对镀好铟柱的器件进行倒装焊。我们初步实验了电镀形成铟柱的方法,需倒装焊的器件在制备完成并蒸金后电镀In柱。在电镀时用光刻胶作掩膜,这样在电镀时只有无光刻胶的部分由于导电而镀上In,通过控制露出在电解液中的孔径大小和电镀时间就可控制In柱的大小和高度
所属分类:
其它
发布日期:2020-11-13
文件大小:53248
提供者:
weixin_38565631