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钝化层与器件可靠性研究
钝化层与器件可靠性研究,李雨辰,何友琴,本文采用了X光电子能谱仪(XPS)、扫描电镜、二次离子质谱仪(SIMS)等多种分析手段对某半导体器件厂失效器件进行失效原因分析,并�
所属分类:
其它
发布日期:2020-01-08
文件大小:1048576
提供者:
weixin_38505158
Si衬底GaN基蓝光LED钝化增透膜研究
在Si衬底GaN基蓝光LED芯片上生长了一层SiON钝化膜,使器件的光输出功率提高12%且有效降低了器件在老化过程中的光衰。对有、无钝化膜的样品进行性能比较,结果表明SiON钝化膜能有效隔离环氧树脂与高温芯片,缓解环氧树脂的老化变黄;又能部分弛豫环氧树脂对芯片的张应力,降低非辐射复合中心产生的几率;有效减小器件的侧壁漏电通道,降低器件的光衰和漏电流,提高器件的可靠性。
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-06
文件大小:2097152
提供者:
weixin_38655284