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  1. 集成电路及微机械加工技术

  2. 关于集成电路的内容，一、 概论 二、 工艺流程实例（图解） 三、 基本单项工艺技术 1、 扩散－掺杂 2、 离子注入－掺杂 3、 氧化－薄膜生长 4、 CVD－薄膜生长 7、 金属化（PVD）－薄膜，互连 5、 光刻－图形转移 6、 刻蚀－形成图形 8、 清洗 四、工艺集成开发

  3. 所属分类：专业指导

    • 发布日期：2011-03-01
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：sdnu888

  1. 传感技术中的MSI推出新产品MSP610—— 一款高精度不锈钢压力传感器

  2. 美国MSI精量电子(美国纳斯达克上市名称:MSS)设计、开发、生产和销售电子传感器和传感基础上的消费产品。旗下的知名品牌有Schaevitz(工业及军用测量位移,倾角,角位移等)、ICsensors（压力芯体及加速度计）、ufused（MSP系列适用于工业上的测量气体和液体的压力传感器）。其通过运用集成电路(ASIC)和微处理(三维技术加工硅片)、MEMS(微电子机械系统)、电容、感应、微机械压电电阻等多种传感技术，可有效地对距离、运动、液面高度、力、位移、角度和压力的测量提供解决方案。该公司产

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-30
    • 文件大小：58368
    • 提供者：weixin_38565003

  1. 传感技术中的微机械惯性传感器检测平台的设计与应用

  2. 微机械惯性传感器检测平台的设计与应用  摘要：一种用于微机械惯性传感器研制与开发的检测平台，介绍电容式惯性传感器微电容信号的检测原理、该系统的总体结构、各个组成部分的工作原理及自动检测方法。     关键词：微机电系统（MEMS） 微机械陀螺（MMG） 检测 随着科学技术的发展，许多新的科学领域相继涌现，其中微米/纳米技术就是诸多领域中引人注目的一项前沿技术。20世纪90年代以来，继微米/纳米技术成功应用于大规模集成电路制作后，以集成电路工艺和微机械加工工艺为基础的各种微传感器和微

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-12-13
    • 文件大小：113664
    • 提供者：weixin_38543280

  1. 基于CY7C136双端口RAM实现微机械惯性通用检测系统的设计

  2. 随着科学技术的发展，许多新的科学领域相继涌现，其中微米/纳米技术就是诸多领域中引人注目的一项前沿技术。20世纪90年代以来，继微米/纳米技术成功应用于大规模集成电路制作后，以集成电路工艺和微机械加工工艺为基础的各种微传感器和微机电系统（MEMS）脱颖而出，平均年增长率达到30%。微机械陀螺是其中的一个重要组成部分。目前，世界各个先进工业国家都十分重视对MMG的研究及开发，投入了大量人力物力，低的产品已经问世，正在向高发展。　　1 微机械振动陀螺仪的简要工作原理　　陀螺系统组成见图1，它由敏感元件

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-01-19
    • 文件大小：110592
    • 提供者：weixin_38650951

  1. 未来的汽车传感器将以MEMS技术为主

  2. 由于汽车传感器在汽车电子控制系统中的重要作用和快速增长的市场需求，世界各国对其理论研究、新材料应用和新产品开发都都非常重视。未来的汽车用传感器技术，总的发展趋势是微型化、多功能化、集成化和智能化。 　　微型传感器基于从半导体集成电路技术发展而来的MEMS(微电子机械系统)，微型传感器利用微机械加工技术将微米级的敏感元件、信号处理器、数据处理装置封装在一快芯片上，由于具有体积小、价格便宜、便于集成等特点，可以明显提高系统测试精度。目前该技术日渐成熟，可以制作各种能敏感和检测力学量、磁学

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-01-14
    • 文件大小：79872
    • 提供者：weixin_38729438