不同温度下利用钛宝石激光器输出的飞秒激光脉冲(脉宽42 fs，中心波长800 nm，最大单脉冲能量3.6 mJ)，通过扫描方式在硅表面诱导产生表面微结构。采用光学显微镜和扫描电镜观察飞秒激光诱导硅表面微结构的形貌，发现不同温度下硅片表面形成的微结构区域和形貌出现明显的差异。根据观测结果，分析比较了不同温度条件下硅材料微结构形成的能量阈值。随着温度升高，形成的微结构区域减小，飞秒激光诱导形成硅表面微结构的能量阈值升高。这对于研究飞秒激光与物质的相互作用有一定的参考价值，也能对将来实现硅表面微结构的