埋在次氧化硅（SiOx）的介电基体中的纳米晶硅（nc-Si）两相材料系统对于光子和光伏器件（例如发光二极管和太阳能电池）具有重要的技术意义。 非晶态SiOx中的nc-Si是通过SiH4 + CO2 + H-2的低频（460 kHz）电感耦合等离子体（LFICP）合成的，而没有常见的高​​氢稀释途径。 复合材料系统的化学组成，微观结构和光学性质可通过CO2 / SiH4的React气体流速比来调节。 借助SEM和TEM表征工具观察到由于相分离而嵌入非晶SiOx中的nc-Si。 nc-SiOx：H中