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  1. 高精度检测球面面形的方法研究

  2. 短波光学的迅猛发展和高精密光学仪器的需求日益增多，对高精度表面的加工与检测也随之重要起来。而在一般的干涉检测中，球面镜检测精度主要依赖参考镜的精度。利用Jensen提出的干涉仪绝对校准理论可以去除参考镜的误差和干涉仪的附加波像差，从而提高被测件测量精度。在研究Jensen绝对校准理论的基础上，提出一种利用泽尼克(Zernike)多项式进行波面相位转换的方法进行波面处理，并提出具体实施方案。对面形精度优于λ/37小凸球面进行测量得出了较好的结果，打破了标准镜头最优λ/20的局限，使这一理论简单易行

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-12
    • 文件大小：695296
    • 提供者：weixin_38743235

  1. 二次泽尼克多项式拟合在检测大曲率零件面形中的应用

  2. 研究了一种在平面干涉仪上检测大曲率球面光学零件面形的方法, 将在平面干涉仪上得到的干涉条纹通过图像预处理、快速傅里叶变换(FFT)提取相位、解包裹、泽尼克(Zernike)多项式拟合等处理得到被检球面相对标准平面的面形, 与指定的标准球面相减后, 再一次Zernike多项式拟合得到被检球面相对于指定标准球面的面形, 计算出被检球面的面形误差峰谷(PV)值、均方根(RMS)值及工程上常用的光圈N与局部光圈ΔN, 并模拟出用球面干涉仪或球面样板检测时的干涉条纹, 克服了接触检测的缺点, 为高精度、大

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-10
    • 文件大小：2097152
    • 提供者：weixin_38546846

  1. 计算全息法标定抛物面精度分析

  2. 非球面高精度检测是目前光学检测研究的热点和难点之一。计算全息(CGH)技术是非球面检测的重要方法，但检测精度受到许多因素的影响。对CGH检测抛物面的误差进行了深入研究。应用Zemax软件对各种检测误差进行模拟计算，利用CGH对抛物面面形进行实际测量，对测量结果中较大的透射波前误差、彗差、球差等进行分析，并将CGH法与共焦小球法的检测进行了结果对比。结果表明，CGH法的设计和制造精度很高，标定基底的透射波前后，理论检测误差均方根(RMS)值低于4.2 nm。实际检测中，CGH的离焦和抛物面偏心会造

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-09
    • 文件大小：3145728
    • 提供者：weixin_38731145

  1. 共轴偏光瞳折轴三反射光学系统装调方法

  2. 为了实现共轴偏光瞳折轴三反射光学系统的高精度装调，提高其光学成像质量，研究了大口径非球面反射镜的微应力装配以及光学系统共基准的调校方法。采用光学定心加工实现主、次反射镜光轴基准与相应构件机械轴基准的高同轴度；采用Zygo激光干涉仪检测波像差，指导主镜、次镜以及三镜的装配过程，保证各反射镜装配组件完成后的面形精度与裸镜一致，并最终指导完成主次镜光学系统以及三反射光学系统的像质调整。此外，由于整个光学系统是偏轴使用的，推帚方向垂直于电荷耦合器件(CCD)线阵方向，采用折轴镜旋转并修切折轴镜垫圈的方法

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-09
    • 文件大小：2097152
    • 提供者：weixin_38637665

  1. 小磨头自适应抛光抑制高精度非球面中频误差

  2. 研究了高精度非球面中频误差的抑制方法和磨头抑制特性等问题，提出了一种小磨头自适应抛光抑制中频误差的方法。将铣磨后中频误差明显的非球面进行预抛光，以去除亚表面损伤。使用气囊抛光方法将非球面面形精抛到较高精度。使用自研的双柔性自适应抛光磨头进行多轮抛光抑制精抛后非球面表面残留的中频误差，并使用计算全息(CGH)进行面形检测，直到Zernike残差不再收敛。使用此方法成功抛光了一块口径为150 mm、最大偏离度为0.183 mm的熔石英非球面。通过3轮中频误差抑制，面形方均根值(RMS)从预抛光后的7

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-08
    • 文件大小：4194304
    • 提供者：weixin_38723513

  1. 150 mm口径SiC双曲面的检测和对准方法研究

  2. 为了实现口径150 mm凸双曲面SiC反射镜的面形检测，分别设计了传统的Hindle球检测、Simpson Hindle式检测和非球面样板法检测。经过检测精度、公差等方面的比较，选取了检测精度高、公差宽松、支撑结构简单的Hindle球检测方案。经过研磨、抛光等加工过程，目前面形精度达到0.023λ(均方根值)。在检测光路的对准和几何量测量方案中，提出采用干涉仪和激光跟踪仪相结合的方法，利用干涉仪对靶标球球面干涉检测对准，分别测量得到干涉仪出射光会聚点和Hindle球心的空间坐标，这两点对应着被检

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-05
    • 文件大小：3145728
    • 提供者：weixin_38549721