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  1. EDA/PLD中的PLD技术在功能薄膜材料研究中的应用

  2. 摘要:薄膜材料已在半导体材料、超导材料、生物材料、微电子元件等方面得到广泛应用。为了得到高质量的薄膜材料,脉冲激光沉积技术受到了广泛的关注。本文介绍了脉冲激光沉积(PLD)薄膜技术的原理及特点,分析了脉冲激光沉积技术在功能薄膜材料中的应用和研究现状,并展望了该技术的应用前景。       关键词:脉冲激光沉积(PLD) 功能薄膜应用研究现状       一、前言       脉冲激光沉积(Pulsed Laser Deposition,简称PLD)是新近发展起来的一项技术,继20世纪80年
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2020-10-21
    • 文件大小:143360
    • 提供者:weixin_38515362