FSI 国际有限公司宣布已成功地采用FSI ViPR:trade_mark:技术在自对准多晶硅化物形成后去除了未反应的金属薄膜。通过实现这一新的工艺，IC制造商可以在钴、镍和镍铂硅化物集成过程中，大幅度减少化学品的使用和降低对资金的要求。新订购的FSI ZETA:registered: Spray Cleaning System喷雾式清洗系统中已经采用了FSI ViPR:trade_mark:技术，并将用于升级最近已经在生产现场安装的系统。 　　镍铂硅化物最早应用于65nm逻辑器件，因为它的