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  1. MEMS压力传感器原理及应用详解

  2. 目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者都是在硅片上生成的微机电传感器。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-07-17
    • 文件大小：55296
    • 提供者：weixin_38732307

  1. 探究MEMS压力传感器及其应用

  2. MEMS是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文缩写。本文主要探究MEMS压力传感器及其应用。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-08-12
    • 文件大小：318464
    • 提供者：weixin_38653296

  1. 医疗应用新突破 MEMS压力传感器创新设计

  2. 日前，一支来自新加坡一家微电子研究所ASTAR的团队制作出一种小型的传感器，这种传感器将一个稳定的膜片与易传感的硅纳米线结合在一起，从而使得MEMS压力传感器可以更稳定耐用，适用于医疗器械。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-08-26
    • 文件大小：101376
    • 提供者：weixin_38558186

  1. 可用于血压计的LWP040压力传感器规格书

  2. LWP040 系列压力传感器是一款全硅结构 MEMS 压力传感器，外部环境温度-20℃～85℃，可以实现压力 0～40kPa 的精确测量，并与输出电压呈现较好的线性关系。该系列压力传感器采用开环检测，SOP6，DIP6 封装，拓宽产品应用方式。

  3. 所属分类：医疗

    • 发布日期：2020-09-18
    • 文件大小：927744
    • 提供者：fly1022

  1. MEMS压力传感器及其应用

  2. MEMS压力传感器可以用类似集成电路（IC）设计技术和制造工艺，进行高精度、低成本的大批量生产，从而为消费电子和工业过程控制产品用低廉的成本大量使用MEMS传感器打开方便之门，使压力控制变得简单易用和智能化。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-23
    • 文件大小：222208
    • 提供者：weixin_38523618

  1. MEMS压力传感器原理与应用

  2. MEMS（微电子机械系统）是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-23
    • 文件大小：187392
    • 提供者：weixin_38548394

  1. 模拟技术中的探究MEMS压力传感器及其应用

  2. 引言     MEMS是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文缩写。MEMS是美国的叫法，在日本被称为微机械，在欧洲被称为微系统，它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。 　　ME

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-22
    • 文件大小：247808
    • 提供者：weixin_38692928

  1. 传感技术中的分析MEMS压力传感器的原理设计与应用

  2. MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。 　　MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业，采用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们所接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。MEMS技术正发展成为一个巨大的产业，就象近20年来微电子产业和计算机产业给人

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-22
    • 文件大小：253952
    • 提供者：weixin_38557515

  1. MEMS压力传感器应用

  2. MEMS压力传感器可以用类似集成电路（IC）设计技术和制造工艺，进行高精度、低成本的大批量生产，从而为消费电子和工业过程控制产品用低廉的成本大量使用MEMS传感器打开方便之门，使压力控制变得简单易用和智能化。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-22
    • 文件大小：307200
    • 提供者：weixin_38702844

  1. 嵌入式系统/ARM技术中的基于MEMS压力传感器的个人导航仪

  2. 压力传感器 是指将压力转换为电信号输出的传感器。压力传感器一般由弹性敏感元件和位移敏感元件（或应变计）组成。弹性敏感元件的作用是使被测压力作用于某个面积上并转换为位移或应变，然后由位移敏感元件或应变计转换为与压力成一定关系的电信号。有时把这两种元件的功能集于一体。压力传感器广泛应用于各种工业自控环境，涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。 　　力学传感器的种类繁多，但常用的压力传感器有电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-21
    • 文件大小：343040
    • 提供者：weixin_38746387

  1. 传感技术中的基于模型识别技术的高温微型压力传感器

  2. 摘　要: 高温压力传感器应用在很多领域,由于高温将使放大电路工作失效,因而采用将放大电路与传感器件分离的设计方案是解决高温测量的方法之一。介绍一种将放大电路与传感器件分离的基于模型识别技术的微型电容式压力传感器。传感器件由MEMS 工艺来实现,信号激励与信号处理由计算机来完成。       对电路的工作过程进行了计算机仿真和试验,并给出了微型高温压力传感器的MEMS 工艺设计流程。       关键词: MEMS 工艺;模型识别;高温;压力传感器       0 　引　言       压

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-21
    • 文件大小：345088
    • 提供者：weixin_38565631

  1. 图解MEMS压力传感器原理与应用

  2. MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业，采用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们所接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-21
    • 文件大小：345088
    • 提供者：weixin_38741540

  1. 国产化压力传感器在石化行业的应用

  2. 本文分析了石化行业对压力变送器的需求，微压力传感器具有许多传统压力传感器不具备的优点，能够满足石化行业对压力传感器的要求。介绍了当前石化领域正在使用的MEMS压力传感器及其结构特点；对比国内外厂商生产的压力传感器性能，明确了压力传感器国产化问题的关键是如何提高传感器长期稳定性问题。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-19
    • 文件大小：99328
    • 提供者：weixin_38638596

  1. 图文详解MEMS压力传感器原理与应用

  2. MEMS(微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-19
    • 文件大小：351232
    • 提供者：weixin_38584043

  1. MEMS压力传感器的原理与应用

  2. MEMS（MicroElectromechanicalSystem，即微电子机械系统）是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-25
    • 文件大小：232448
    • 提供者：weixin_38618094

  1. 传感技术中的敏芯微电子推出MEMS压力传感器芯片

  2. 继推出硅基MEMS麦克风芯片后，苏州敏芯微电子技术有限公司日前又推出了1.4mm×1.4mm×0.7mm外形尺寸MEMS绝对压力传感器芯片，主要针对量程为15PSI的高度表市场，并已开始提供样品。 　　据敏芯微电子介绍，其MEMS压力传感器芯片典型满量程输出范围为100kPa，在加载电压5V的情况下，满量程灵敏度为100mV，桥臂电阻典型值为5k欧姆，零位输出在+-30mV之间，灵敏度温度系数为-19%FS/100度。敏芯微电子称，其在国内率先独家推出的MEMS绝对压力传感器芯片，可同时兼容开

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-09
    • 文件大小：38912
    • 提供者：weixin_38702515

  1. 传感技术中的mems压力传感器

  2. 硅直接键合技术广泛应用于压力传感器和加速度计，是一种制备密封腔的重要的工艺手段。硅-硅直接键合技术制备压力传感器具有很大的优势：成本低，应力小，性能高，可以大规模生产。压力传感器分为两种，一种是基于压阻的变化，一种是基于电容的改变。压阻式压力传感器是在密封腔上面悬空的硅层上制备压敏电阻，随着压力的变化，硅膜的应力变化，相应的压阻发生变化，键合压阻式压力传感器如图1.19所示。主要的工艺工艺步骤为：（1）衬底硅片进行腐蚀，腐蚀出要求的密封腔；（2）把衬底和另外一个硅片键合，并经过1000~1200

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-12-09
    • 文件大小：52224
    • 提供者：weixin_38557530

  1. 压力传感器将成为头号微机电器件

  2. 根据IHS iSuppli公司的MEMS和传感器的研究，由于相对较高的价格，以及在汽车、医疗及工业应用，如限制不断扩大，压力传感器到2014年将会是销售额的微机电系统(MEMS)设备。 因为汽车工业正在衰落强劲复苏后，压力传感器去年销售额比2009年增加了26%，至12.2亿美元，在所有的MEMS器件第二。更温和的增长，今年预计将增长6%，销售额达到了13亿美元，但预计在2012年的增长率将达到两位数。 与稳定膨胀，压力传感器三年后将成为销售MEMS器件，迫使无处不在的加速度计和陀螺

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-01-20
    • 文件大小：91136
    • 提供者：weixin_38610717

  1. 探究MEMS压力传感器及其应用

  2. 引言     MEMS是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文缩写。MEMS是美国的叫法，在日本被称为微机械，在欧洲被称为微系统，它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。 　　ME

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-01-20
    • 文件大小：319488
    • 提供者：weixin_38543950

  1. SMI正式推出了SM923X系列超低压力传感器

  2. SMI（Silicon Microstructures， Inc.），elmos的子公司，近日宣布推出SM923X系列超低压力传感器。SM923X系列压力范围可至250Pa（1 inH2O）。这款具有完全温度补偿和压力校准的传感器使其在工业、HVAC和医疗应用中实现的压力测量。SMI专有的MEMS压力传感器技术与的信号调理IC集成在一个封装中，实现了业界的输出精度（1％FS）和长期稳定性。 　　SM923X系列的开发满足了工业、HVAC和医疗应用等领域的对可靠性的苛刻要求。SMI的紧凑型解决方

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-01-20
    • 文件大小：63488
    • 提供者：weixin_38748055
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