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  1. MEMS压阻式压力传感器倒装焊封装的研究和发展.pdf

  2. 介绍了倒装焊接技术在MEMS压阻式压力传感器封装领域的优势和目前研制的压力敏 感芯片的倒装焊的关键技术。根据封装结构设计和基板材料的不同,详细论述了国内外MEMS压 阻式压力传感器倒装焊技术的研究成果。最后总结了MEMS压力传感器倒装焊技术的发展前景和 所面临的挑战。
  3. 所属分类:硬件开发

    • 发布日期:2020-03-15
    • 文件大小:546816
    • 提供者:yoever_pei