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  1. 一种多层膜反射镜反射率的测量方法

  2. 一种多层膜反射镜反射率的测量方法，程涛，李英骏，x射线激光以其波长短，单光子能量高的特点广泛应用在很多的方面，例如天文学、显微镜、激光武器、光谱分析学等等。在x射线的多种�

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-02-18
    • 文件大小：814080
    • 提供者：weixin_38613640

  1. 掠入射X射线荧光与X射线反射综合表征多层膜结构

  2. 掠入射X射线荧光与X射线反射综合表征多层膜结构，杨晓月，李文斌，掠入射x射线荧光与x射线反射率是一种综合分析薄膜材料结构的表征方法。应用此技术不仅可以进行元素分析，而且可以给出膜层的厚度�

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    • 发布日期：2019-12-28
    • 文件大小：694272
    • 提供者：weixin_38571544

  1. X射线W/B4C宽带多层膜的优化设计和制备

  2. 介绍了X射线宽带多层膜材料W和B4C的选定方法,依据伯宁(BERNING)公式确定出了在0.154 nm处X射线宽带多层膜的最佳膜对数。引入适当的评价函数,利用具有全局寻优特性且效率较高的遗传算法,在波长0.154 nm处优化设计出了掠入射角(θ)0.5°～0.9°范围内反射率值达到40％的宽角度宽带多层膜。宽带多层膜反射镜采用磁控溅射方法制备,并用X射线衍射仪对样品进行了检测,结果表明在掠入射角(2θ)1.0°～1.8°之间的相对反射率光谱曲线比较平坦。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-03-05
    • 文件大小：547840
    • 提供者：weixin_38742291

  1. 提高极紫外光谱纯度的多层膜设计及制备

  2. 极紫外光刻是实现22 nm技术节点的候选技术。极紫外光刻使用的是波长为13.5 nm的极紫外光，但在160~240 nm波段，极紫外光刻中的激光等离子体光源光谱强度、光刻胶敏感度以及多层膜的反射率均比较高，光刻胶在此波段的曝光会降低光刻系统的光刻质量。从理论和实验两方面验证了在传统Mo/Si多层膜上镀制SiC单层膜可对极紫外光刻中的带外波段进行有效抑制。通过使用X射线衍射仪、椭偏仪以及真空紫外(VUV)分光光度计来确定薄膜厚度、薄膜的光学常数以及多层膜的反射率，设计并制备了［Mo/Si］40 S

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-25
    • 文件大小：2097152
    • 提供者：weixin_38659527

  1. 美国和欧洲X射线多层膜反射镜的开发简况

  2. 今年8月作者在美国逗留期间，考察了X射线多层膜反射镜的开发和应用，本文作一简单介绍。

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    • 发布日期：2021-02-25
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：weixin_38651286

  1. 用于软X射线光学元件的多层膜

  2. 电磁波谱中的软X射线部分位于真空紫外和常规X射线区域之间。通过精确测定，其波长约在10~0.5亳微米范围内。在这些波长处，简单表面垂直入射的反射能力很小，因此，习惯利用掠入射光学元件来聚集辐射。可是，严重的象差却限制了这类圆柱形或圆环形反射镜的聚焦特性，而单色器最好也不过具有中等分辨率，加之一般辐射光通量利用率不高，因此就需要一种在垂直入射的情况下能利用其反射性能的光学元件。据最近的参考文献报道，多层膜可满足这种要求，而且垂直入射光学元件的设计与制造在技术上都是可行的。这表示用于同步加速器装置（

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-25
    • 文件大小：2097152
    • 提供者：weixin_38665093

  1. 极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si 多层膜设计与制备

  2. 针对极紫外光刻照明系统中一块小尺寸反射镜大入射角带宽的需求，采用Si层有效厚度与公转速度关系式和多层膜周期厚度与公转速度关系式，完成了宽带Mo/Si多层膜设计膜系的制备工作。在磁控溅射镀膜机上制备了一系列不同周期厚度和G 值(Mo层厚度与多层膜周期厚度的比值)的Mo/Si多层膜规整膜系，并利用掠入射X 射线反射谱表征，分别得到多层膜周期厚度、Mo层有效厚度和Si层有效厚度与公转速度的关系式以及多层膜界面粗糙度。采用Levenberg-Marquardt 算法完成了宽带膜系设计，设计结果为在16.

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    • 发布日期：2021-02-23
    • 文件大小：2097152
    • 提供者：weixin_38609571

  1. 软X光激光用多层膜反射镜的制备与检测

  2. 介绍在制备和检测软X光激光用多层膜反射镜中听做的研究工作。重点是制备过程，包括基板、镀膜设备、膜厚控制方法，以及经大量实验得出的镀膜工艺条件、给出了利用X光射线衍射仪所做的周期结构检测结果，以及利用激光等离子体作光源的精密反射率计所作的反射率测量结果。最后，对工作进展和存在的问题做了简略评述。

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    • 发布日期：2021-02-13
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：weixin_38681082

  1. 同步辐射软X射线光学实验平台的建立及其应用

  2. 在北京同步辐射装置(BSRF)上建立了国内唯一的软X射线光学实验平台,主要用于惯性约束聚变(ICF)激光等离子体诊断用探测元器件的精密标定技术研究。硬件方面主要包括两条不同能区的单色聚焦X射线光束线(能量范围0.05-6 keV)、高精度软X射线综合测试分析装置、软X射线标准探测器电离室系统及若干探测器标定装置等,软X射线(0.05-1.5 keV)和中能X射线(1.2-6 keV)两条光束线各项性能指标均达到或优于原设计指标。一大批ICF实验用的探测器在实验平台上进行了标定,主要包括X射线探测

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    • 发布日期：2021-02-12
    • 文件大小：3145728
    • 提供者：weixin_38595473

  1. 基于模拟退火算法的宽角度X射线超反射镜设计研究

  2. 应用于硬X射线波段的宽带多层膜光学元件——宽角度X射线超反射镜的设计可以归结为一个连续变量的多维多极值的全局优化问题。缺少一种有效的全局优化方法是阻碍解决这一难题的一个关键。模拟退火算法是一种简单而且通用的全局优化算法。结合光学多层膜的设计原理提出了利用模拟退火算法来进行宽角度X射线超反射镜设计的新方法。结合已有的方法选择了W 和C 作为膜层的膜对材料,设计出Cu的Kα线处角度范围0.9°～1.1°反射率达到20%的宽角度X射线超反射镜。并在此基础上采用改进的自适应模拟退火算法实现了Cu的Kα线

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：845824
    • 提供者：weixin_38677806

  1. X射线多层反射膜

  2. 评述X射线多层反射膜原理、现状和问题.讨论了投影X射线光刻和X射线毛细管放电重复率激光器所用的反射镜.

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：248832
    • 提供者：weixin_38660069

  1. 软X射线Mo/Si多层膜反射率拟合分析

  2. 由于多层膜的表界面粗糙度和材料之间的相互扩散等因素,导致多层膜的实际反射率小于理论计算的反射率,因此,多层膜结构参量的确定对镀膜工艺参量的标定具有重要意义。由于描述单个非理想粗糙界面散射的Stearns法适用于软X射线短波段区域,采用它的数学模型来描述软X射线多层膜的粗糙度,利用最小二乘法曲线拟合法对同步辐射测得的Mo/Si多层膜的反射率曲线进行拟合,得到了非常好的拟合结果,从而确定了多层膜结构参量,同时分析了多层膜周期厚度,厚度比率,界面宽度以及仪器光谱分辨率对多层膜反射特性的影响,这些工作都

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：650240
    • 提供者：weixin_38728360

  1. 一种软X射线多层膜界面粗糙度的计算方法

  2. 提出一个利用多层膜小角X射线衍射谱衍射峰积分强度计算多层膜界面粗糙度的公式。用磁控溅射技术制备Mo/Si多层膜,用波长为0.154 nm的硬X射线测量样品在小掠入射角区的衍射曲线,分别用本文公式和反射率曲线拟合方法计算了样品的界面粗糙度。实验结果表明:由本文公式获得的界面粗糙度近似于拟合方法获得的界面粗糙度,它们略等于多层膜界面实际粗糙度。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：weixin_38600017

  1. 90年代多层膜软X射线反射镜的发展状况与未来动向

  2. 90年代多层膜软X射线反射镜的发展状况与未来动向

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：weixin_38649838

  1. 软X射线多层膜反射镜界面粗糙度的一种估算方法

  2. 介绍了描述单个非理想粗糙界面散射的D. G. Stearns法,它适用于软X射线短波段区域.将这种方法应用到多层膜结构,并采用它的数学模型来描述软X射线短波段区域(1～10 nm)多层膜界面粗糙度.在此理论下,对波长为4.77 nm的Co/C多层膜反射镜界面粗糙度进行了分析,估算出该多层镜界面间均方根粗糙度为0.7 nm.

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：94208
    • 提供者：weixin_38608055

  1. C/Al软X射线多层膜反射镜

  2. 在λ=28.5 nm波长处,选择了一种新的多层膜材料对C/Al。与Mo/Si,C/Si软X射线多层膜相比,正入射C/Al多层膜在15.0 nm附近有很低的二级衍射峰。用磁控溅射法制备了C/Al软X射线多层膜样品,并用X射线小角衍射法对其结构进行了测试。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：731136
    • 提供者：weixin_38508821

  1. 软X射线多层膜光栅的衍射特性

  2. 用X射线运动学理论对软X射线多层膜光栅的衍射特性进行了研究.发现其衍射规律与多层膜的布拉格衍射和普通光栅衍射有本质的区别,可将衍射能量集中于某一衍射级上,同时它又保持了多层膜的高反射率和光栅的高分辨本领等优良特性.

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：183296
    • 提供者：weixin_38690545

  1. 不连续金属薄膜对短波长软X射线多层膜反射特性的影响

  2. 讨论了不连续金属薄膜对软Ｘ射线多层膜反射特性的影响。给出了理论模型,具体计算了在短波段的软Ｘ射线多层膜反射率与不连续金属岛状膜在基底表面覆盖率之间的关系,修正了文献中的评估方法,并建立了新的定性评估包含不连续金属膜层的软X射线多层膜光学特性分析模型。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：967680
    • 提供者：weixin_38715567

  1. 45°角入射的13.1nm软X射线多层膜的研制

  2. 报道了对45°入射角高反的13.1 nm软X射线多层膜反射镜的研制情况。利用在星光装置中进行的软X射线激光等离子体实验测量多层膜反射率的方法, 获得了26.2%的实测反射率, 该反射率已达到理论反射率的70%。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：985088
    • 提供者：weixin_38686860

  1. 入射光单色性与界面粗糙度对多层膜反射性能的不同影响

  2. 多层膜界面粗糙度、入射光单色性对软X射线多层膜实际反射率均有影响。利用数学卷积积分,理论上推导出一个在入射光不同单色性下精确计算多层膜反射率的公式。利用给出的理论计算公式,简要分析了入射光不同单色性、不同界面粗糙度对Mo/Si多层膜反射率的影响。理论分析发现这两种因素对Mo/Si多层膜反射率影响完全不同：入射光低的单色性不但极大降低Mo/Si多层膜峰值反射率,而且使反射曲线的半峰全宽增加；而界面粗糙度是降低Mo/Si多层膜反射曲线上各点对应值,基本不改变Mo/Si反射曲线的半峰全宽,不改变反射曲

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：weixin_38733382
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