晶圆制造设备(前道设备)通常占半导体代工厂投资总额的60%-70%。以国内最 大的代工厂中芯国际为例,其12英寸芯片SN1项目的总投资额为90.59亿美元,其 中生产设备购置及安装费达73.30亿美元,占投资总额的80.9%。随着集成电路线 宽不断缩小,集成电路的设备投资呈指数级上升趋势。根据IBS统计,5nm产线的 设备投资高达数百亿美元,是16/14nm产线投资的两倍以上,是28nm的四倍左右。根据SEMI的统计,前道设备占集成电路设备整体市场规模的81%,封装测试设备 约占14%。在前道设